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须颖
2015-07-08 16:57 包志刚  审核人:

姓名:须颖

职称:教授

性别:男

出生日期:1959年5月16日

所在专业:机械制造

硕士导师:是

博士导师:是

Email:xuying@sjzu.edu.cn

研究方向:(1) 超精密运动控制技术;(2) 微纳检测技术

简介:须颖,男,工学博士,教授,三英精密工程中心主任,天津大学兼职教授,中组部“千人计划”国家特聘专家,辽宁省首批“十百千高端人才引进工程”“百人”层次。1982年于辽宁建工学院获学士学位;1987年于大连理工大学获硕士学位;1995年于英国University of Warwick获博士学位。先后在英国Queesngate设备有限公司、英国KLA-Tencor公司英国研发中心任职高级工程师,美国nPoint有限责任公司任职技术总监/副总裁,美国Xradia有限责任公司任职工程部主任,是国际上最早从事纳米定位平台产品研发和设计专家之一,具有近20年在英国和美国从事超精密运动控制新技术和新产品的研发经验。在英国Queesngate Instruments Ltd任职期间,设计开发的三十多种纳米定位平台产品,包括一些为IBM,Seagate,Quantum,KLA,Fujitsu,Sony等国际著名公司所做的项目,许多产品的技术指标为世界首创,为该行业今后的技术规范制订提供了参考。在美国nPoint, Inc任职期间,带领团队为公司开发出了一系列的标准产品,包括从模拟控制器到DSP数字控制器,和二十多种不同规格种类的纳米运动平台产品,其中许多产品的技术指标世界领先。在此其间,还主持完成了二十多项OEM项目,其合作公司大多为国际领先的半导体设备制造商和扫描显微镜制造商,如:Nikon,KLA-Tencor,Veeco,FEI,JEOL,Zygo等。此外,为公司设计的最新纳米定位技术的开发与应用的规划方案获美国国防部、能源部等多个部门的赏识,并获美国联邦SBIR基金共三百多万美元,用以从事其研究与开发。完成过几十种纳米仪器/设备产品的开发和研制,主持和参加过5项美国国防部资助的有关纳米定位控制技术的研发项目,拥有4项纳米定位技术相关的美国发明专利。曾经多次在美国、欧洲精密工程学会年会做大会论文报告,获得过美国精密工程学会年会奖金,美国杂志Laser Focus World 2002年度杰出技术交流奖。


论文及著作: 代表性论文:

1 Y. Xu, P.D.Atherton, T. Hick, M. McConnell, and P. Rhear.Design and Characterisation of an Ultra-Precision x-y Stage.Proceedings of the 1stInternational euspen Conference, 1999, Bremen, Germany.

2 Y. Xu, P.D.Atherton, P. Rhear, T. Hick and M. McConnell.Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper II).Proceedings of 12th ASPE Annual Meeting, 1997, Norfork, Vieginia, USA.

3 Y. Xu, P.D.Atherton T. Hick and M. McConnell.Design and characterisation of nanometer precision positioning mechanisms (paper I).Proceedings of 11th ASPEAnnual Meeting, 1996, Monterey, CA, USA.

4 T. Hick, P.D.Atherton, Y. Xu and M. McConnell.The NanoPositioning Book.Queensgate Instruments Ltd, 1997.

5 S.T.Smith, V.G. Badami, J.S. Dale and Y. Xu.Elliptical Flexure Hinges.Rev. Sci. Instrum., 68 (3), March, 1997.

6 P.D.Atherton, Y. Xu and M. McConnell.New X-Y stage for precision positioning and scanning.Proceedings of 9th SPIE, 1996.

7 Y.Xu, S.T.Smith, and P.D.Atherton.A metrological scanning force microscope.Precision Engineering, Vol. 19, No 1, 1996.

8 Y. Xu and S.T.Smith.The determination of squeeze film damping in capacitance based cantilever force probes.Precision Engineering, Vol. 17, No 2, 1995, pp 94.

9 S.T.Smith, L.P.Howard, X.Liu, Y. Xu and D.G. Chetwynd.Practical design considerations in the applications of atomic force profilometry for engineering surface measurements.The 3rd Biannial Joint Warwick / Tokyo Nanotechnology Symposium, Tokyo, Sept. 1992.


科研项目:

主持完成或正在承担的科研项目:

[1] 《纳米位移定位控制技术和系统的研发》(2011BAK15B09),国家“十二五”科技支撑计划课题,2011.12-2015.12,承担单位:沈阳建筑大学,经费:327万元。

[2] 《X射线三维显微成像检测系统研发》(2011YQ030112),国家重大科学仪器设备开发专项,2011.10-2015.12,承担单位:天津大学,经费:6318万元。

[3] 《工业型扫描探针显微测试系统及关键技术》,国家“863”计划项目,2011.12-2015.12,承担单位:天津大学。



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